智能裝備 智慧領(lǐng)域 上海微電子裝備獲得2020年度上?？萍歼M(jìn)步二等獎(jiǎng)
5月25日，2020年度上海市科學(xué)技術(shù)獎(jiǎng)公布，上海微電子裝備“高性能雙脈沖激光退火設(shè)備研發(fā)與IGBT生產(chǎn)應(yīng)用”獲得2020年度上海市科技進(jìn)步二等獎(jiǎng)。
2021-05-28 19:36:44 |
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5月25日，2020年度上海市科學(xué)技術(shù)獎(jiǎng)公布，上海微電子裝備“高性能雙脈沖激光退火設(shè)備研發(fā)與IGBT生產(chǎn)應(yīng)用”獲得2020年度上海市科技進(jìn)步二等獎(jiǎng)。
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7月15日，由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局和世界知識(shí)產(chǎn)權(quán)組織共同評(píng)選的第二十一屆中國(guó)專(zhuān)利獎(jiǎng)?wù)桨l(fā)布授獎(jiǎng)決定，上海微電子公司發(fā)明專(zhuān)利“一種步進(jìn)光刻設(shè)備及光刻曝光方法（ZL201110241791.3）”榮獲第二十一屆中國(guó)專(zhuān)利優(yōu)秀獎(jiǎng)，這也是上海微電子公司獲得的第九項(xiàng)中國(guó)專(zhuān)利優(yōu)秀獎(jiǎng)。
2020-08-28 09:18:06周一至周五
09:00 - 17:30
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